上證報(bào)中國(guó)證券網(wǎng)訊(記者李興彩)6月30日，上交所官網(wǎng)顯示，東方晶源微電子科技(北京)股份有限公司(簡(jiǎn)稱“東方晶源”)科創(chuàng)板IPO申請(qǐng)獲受理。

東方晶源本次擬募集資金25億元，主要投向高端半導(dǎo)體（881121）良率管理設(shè)備研發(fā)升級(jí)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目、計(jì)算光刻和設(shè)計(jì)工藝協(xié)同優(yōu)化EDA工具研發(fā)升級(jí)項(xiàng)目及補(bǔ)充流動(dòng)資金。

招股書(申報(bào)稿)顯示，東方晶源主營(yíng)業(yè)務(wù)是集成電路量檢測(cè)設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售，以及集成電路制造（884227）類EDA軟件的研發(fā)與銷售，公司致力于解決芯片制造中的良率痛點(diǎn)問(wèn)題。公司利用量檢測(cè)設(shè)備硬件產(chǎn)品、制造類EDA軟件產(chǎn)品以及不同產(chǎn)品的有機(jī)結(jié)合，為客戶提供芯片制造良率提升的整體解決方案，并在電子束量檢測(cè)設(shè)備和計(jì)算光刻軟件等關(guān)鍵環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)本土化突破。

產(chǎn)品方面，東方晶源的集成電路量檢測(cè)設(shè)備主要包括CD-SEM電子束關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備、EBI電子束缺陷檢測(cè)設(shè)備、DR-SEM電子束缺陷復(fù)檢設(shè)備及HV-SEM高能電子束設(shè)備等四大品類的電子束量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)了在電子束量檢測(cè)設(shè)備核心品類上的全面布局。公司產(chǎn)品主要應(yīng)用于集成電路前道工藝。

東方晶源介紹，目前，公司最新型號(hào)的CD-SEM和DR-SEM已取得客戶批量訂單，驗(yàn)證結(jié)果顯示公司產(chǎn)品的技術(shù)指標(biāo)與國(guó)際廠商主流設(shè)備相當(dāng)。公司的EBI設(shè)備系國(guó)內(nèi)首款成功研發(fā)并通過(guò)產(chǎn)業(yè)化驗(yàn)證的電子束缺陷檢測(cè)設(shè)備，進(jìn)入產(chǎn)線量產(chǎn)已超過(guò)5年，產(chǎn)品性能持續(xù)迭代，不斷取得新客戶訂單。

在軟件方面，東方晶源的制造類EDA軟件產(chǎn)品主要是計(jì)算光刻軟件等通過(guò)優(yōu)化改進(jìn)光刻工藝以提高晶圓制造良率的集成電路制造（884227）類EDA軟件。招股書(申報(bào)稿)顯示，公司計(jì)算光刻軟件PanGen技術(shù)水平國(guó)內(nèi)領(lǐng)先，可提供全套計(jì)算光刻解決方案，已在國(guó)內(nèi)知名邏輯芯片及存儲(chǔ)芯片（886042）產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)應(yīng)用，性能達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水準(zhǔn)。

此外，東方晶源基于芯片設(shè)計(jì)制造全流程優(yōu)化方案HPO，研發(fā)了良率數(shù)據(jù)集成分析管理平臺(tái)YieldBook、設(shè)計(jì)可制造性檢查軟件DMC、圖形化工（850102）藝壞點(diǎn)仿真檢測(cè)軟件PHD和工藝窗口驗(yàn)證仿真檢測(cè)軟件vPWQ等多款HPO軟件產(chǎn)品。報(bào)告期內(nèi)，公司光刻機(jī)（886054）良率提升軟件、PanGen Sim、YieldBook和PHD均已產(chǎn)業(yè)化驗(yàn)證并實(shí)現(xiàn)銷售，DMC和vPWQ軟件均處于產(chǎn)業(yè)化驗(yàn)證階段。

研發(fā)方面，2023年至2025年，東方晶源研發(fā)費(fèi)用分別為2.55億元、3.26億元和3.00億元。截至2025年12月31日，公司擁有201項(xiàng)授權(quán)發(fā)明專利，包括148項(xiàng)境內(nèi)發(fā)明專利、53項(xiàng)境外發(fā)明專利。